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微滤技术标准：
1 设备的主要性能产水量、过滤精度、过滤效率应达到设计的额定值．
2 设备的结构应合理、紧凑．
3 设备所采用的元器件如膜元件、泵、管阀件、仪器仪表等均应符合有关的标准或规范．
4 用于生活饮用水处理的设备，其与水接触的材料应符合GB/T17219的规定．
5 设备的机架应安装牢固、焊缝平整，如用油漆，涂层应均匀．
6 设备的管道应安装平直、布局合理、无渗漏．金属管道安装与焊接应符合GB 50235的规定管道
安装及连接应符合HG 20520的规定．
7 设备的电控部分应动作可靠．
8 设备的泵的安装应平稳、牢固，运行时不得有异常振动．
9 设备的电气安全应符合GB 4706.1的规定．
选用真空泵注意事项：
1
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg
的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空
度半个到一个数量级。
2
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在
这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因
而，泵的工作点应选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可在
10-2mmHg下工作，但工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要
几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而
三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便
会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真
空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸
附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如
加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
6
了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需
要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应
该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
7
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把
油蒸气排到室外。
8
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或
者采取防振动措施。
9 真空泵的价格、运转及维修费用。
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